高精度定位單元多孔質(zhì)陶瓷制空氣滑塊

產(chǎn)品名稱: 高精度定位單元多孔質(zhì)陶瓷制空氣滑塊

產(chǎn)品型號(hào): RC系列

產(chǎn)品特點(diǎn): 高精度定位單元多孔質(zhì)陶瓷制空氣滑塊
日本 PM-T 的 RC 系列「陶瓷制空氣滑塊」定位為“測(cè)量設(shè)備用高精度定位單元"，典型特點(diǎn)是把多孔質(zhì)陶瓷導(dǎo)軌 + 靜壓空氣軸承集成在一條緊湊底座內(nèi)，可在 2400 mm 行程內(nèi)實(shí)現(xiàn) ≤ 2 µm 的直線度，重復(fù)再現(xiàn)性 0.2 µm 以內(nèi)，適用于三坐標(biāo)、激光測(cè)厚、晶圓檢測(cè)等需要亞微米級(jí)定位的測(cè)量工位。

高精度定位單元多孔質(zhì)陶瓷制空氣滑塊 的詳細(xì)介紹

高精度定位單元多孔質(zhì)陶瓷制空氣滑塊

日本 PM-T 的 RC 系列「陶瓷制空氣滑塊」定位為“測(cè)量設(shè)備用高精度定位單元"，典型特點(diǎn)是把多孔質(zhì)陶瓷導(dǎo)軌 + 靜壓空氣軸承集成在一條緊湊底座內(nèi)，可在 2400 mm 行程內(nèi)實(shí)現(xiàn) ≤ 2 µm 的直線度，重復(fù)再現(xiàn)性 0.2 µm 以內(nèi)，適用于三坐標(biāo)、激光測(cè)厚、晶圓檢測(cè)等需要亞微米級(jí)定位的測(cè)量工位。

主要規(guī)格與優(yōu)勢(shì)

材質(zhì)：導(dǎo)軌與滑塊工作臺(tái)整體燒結(jié)陶瓷，質(zhì)量輕、熱膨脹系數(shù)低，長(zhǎng)時(shí)間使用彎曲變形量小。
精度（出廠實(shí)測(cè)附報(bào)告）

直線精度：垂直/水平面內(nèi)與理想直線偏差 ≤ 2 µm/2400 mm
滑塊上表面平行度：±1 µm/100 mm
重復(fù)定位：0.2 µm（未加載，0.1 MPa 供氣）

結(jié)構(gòu)選項(xiàng)

可移動(dòng)式（手動(dòng)/電機(jī)驅(qū)動(dòng)）與定置式兩種；最長(zhǎng) 3500 mm 拼接供貨。

接口與附件

標(biāo)準(zhǔn)底座兩側(cè)帶 M4 螺紋孔，可直接鎖至花崗巖平臺(tái)或鋁框架；
可選配 PM-T 伺服/步進(jìn)一體驅(qū)動(dòng)單元，實(shí)現(xiàn)閉環(huán) 0.01 µm 分辨率。

使用環(huán)境

供氣 0.4-0.6 MPa 潔凈干燥空氣；
溫度 20 ± 1 ℃ 時(shí)性能最佳，可在 Class 1000 潔凈室長(zhǎng)期運(yùn)行。

綜上，RC 系列通過“全陶瓷導(dǎo)軌 + 靜壓空氣軸承"把直線度控制在 2 µm 級(jí)，同時(shí)保持 0.2 µm 重復(fù)性，是測(cè)量設(shè)備或半導(dǎo)體檢查裝置實(shí)現(xiàn)高精度、長(zhǎng)行程定位的典型空氣滑塊方案。

日本 PM-T 的 RC 系列「陶瓷制空氣滑塊」定位為“測(cè)量設(shè)備用高精度定位單元"，典型特點(diǎn)是把多孔質(zhì)陶瓷導(dǎo)軌 + 靜壓空氣軸承集成在一條緊湊底座內(nèi)，可在 2400 mm 行程內(nèi)實(shí)現(xiàn) ≤ 2 µm 的直線度，重復(fù)再現(xiàn)性 0.2 µm 以內(nèi)，適用于三坐標(biāo)、激光測(cè)厚、晶圓檢測(cè)等需要亞微米級(jí)定位的測(cè)量工位

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主要規(guī)格與優(yōu)勢(shì)