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產(chǎn)品資料
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半導體工藝氣氛測量低濃度氧分析儀

產(chǎn)品名稱: 半導體工藝氣氛測量低濃度氧分析儀
產(chǎn)品型號: PS-801-L
產(chǎn)品特點: 半導體工藝氣氛測量低濃度氧分析儀
該設備采用合金式酸素(氧)傳感器,對可燃性氣體的感知能力強,并且傳感器可以單觸更換。在低濃度氧(不足1%)時,也可以進行分解能0.01%的測定。
設備能夠通過計算來確認氣體置換時間,可以設置充填氣體必要的酸素濃度,計算出達到此濃度所需的置換時間,指示燈閃爍時,置換完成。
采用簡單的插入式連接,方便地連接到已有的配管。
設備便攜,由于采用干電池、質量輕,也適合野外試

半導體工藝氣氛測量低濃度氧分析儀 的詳細介紹

半導體工藝氣氛測量低濃度氧分析儀

半導體工藝氣氛測量低濃度氧分析儀

  1. 該設備采用合金式酸素(氧)傳感器,對可燃性氣體的感知能力強,并且傳感器可以單觸更換。在低濃度氧(不足1%)時,也可以進行分解能0.01%的測定。
  2. 設備能夠通過計算來確認氣體置換時間,可以設置充填氣體必要的酸素濃度,計算出達到此濃度所需的置換時間,指示燈閃爍時,置換完成。
  3. 采用簡單的插入式連接,方便地連接到已有的配管。
  4. 設備便攜,由于采用干電池、質量輕,也適合野外試驗槽等。
  5. 設備采用兩個鍵,操作簡單,適合各種工業(yè)爐和裝置啟動時的氣體置換的標準化和品質管理,以及半導體制造工序,燃燒,廢氣等管理等。
此外,GP-200還具有以下技術參數(shù):測定范圍為氧氣濃度0.00~0.99% O2和1.0~25.0% O2自動切換,溫度0.0~40.0℃;儀表精度為氧氣濃度±0.03%(02一定溫度),溫度±0.2℃;響應速度為90%響應15秒以內(20℃);校準方法為空氣的一觸校正。
  1. 該設備采用合金式酸素(氧)傳感器,對可燃性氣體的感知能力強,并且傳感器可以單觸更換。在低濃度氧(不足1%)時,也可以進行分解能0.01%的測定。
  2. 設備能夠通過計算來確認氣體置換時間,可以設置充填氣體必要的酸素濃度,計算出達到此濃度所需的置換時間,指示燈閃爍時,置換完成。
  3. 采用簡單的插入式連接,方便地連接到已有的配管。
  4. 設備便攜,由于采用干電池、質量輕,也適合野外試驗槽等。
  5. 設備采用兩個鍵,操作簡單,適合各種工業(yè)爐和裝置啟動時的氣體置換的標準化和品質管理,以及半導體制造工序,燃燒,廢氣等管理等。
此外,GP-200還具有以下技術參數(shù):測定范圍為氧氣濃度0.00~0.99% O2和1.0~25.0% O2自動切換,溫度0.0~40.0℃;儀表精度為氧氣濃度±0.03%(02一定溫度),溫度±0.2℃;響應速度為90%響應15秒以內(20℃);校準方法為空氣的一觸校正


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